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存在问题该单晶炉二次增料装置存在主要问题如下： (1)、卡料：由于硅料之间、硅料与装置内部的部件之间存在摩擦力，落料时，硅料容易卡壳，甚硅料卡住拉杆1，致使其底部锥面与外筒5之间不能形成间隙，块状硅料不能实现下落；(2)、污染：硅料在实现落料的过程中，拉杆1底部锥面会被下面熔融硅料(单晶炉内)的高温所氧化而污染硅料，从而影响拉晶工艺或硅棒质量等缺点。

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整个炉内不存在排气 不畅的地方，即不存在排气死角，既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀，还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上，从而确保了该炉的使用寿命，使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上，另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用，使平均成品率从原来的65%提高68%以上，并可提高单晶 的内在质量。据统计，上硅单晶的产量中70%～80%是用直拉法生产的。再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中，要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度V向上(下)运动，而且当提拉负载增大引起线速度为零时，提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。在实际单晶炉中，对提拉控制系统提出的主要技术指标是，提拉速度在0.2～10.0mm/h范围之内实现无级可调。99%以上的集成电路是硅集成电路，生产集成电路所需要的单晶硅，是在硅结晶生长始时，用提拉的法制成的。在单晶硅生产过程中，对晶体的提拉速度有十分严格的要求，从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。