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回收多晶硅铸锭炉+宁海离子泵回收附近的电话
发布时间:2024/5/5 0:24:02
发布:shxj365
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据统计,上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中,要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度V向上(下)运动,而且当提拉负载增大引起线速度为零时,提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。在实际单晶炉中,对提拉控制系统提出的主要技术指标是,提拉速度在0.2~10.0mm/h范围之内实现无级可调。99%以上的集成电路是硅集成电路,生产集成电路所需要的单晶硅,是在硅结晶生长始时,用提拉的法制成的。在单晶硅生产过程中,对晶体的提拉速度有十分严格的要求,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。
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其包括氩气输入管,与氩气输入管相连通的环形气体分布器,其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa,氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置,其包括中轴孔,一对电极孔,以及与排气口相对的通气孔,石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔。本发明了一种直拉式单晶生长炉全文摘要为减少直拉式单晶生长炉的氩气消耗的技术问题所述电极柱分别穿过所述电极孔,排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。国内现在的蓝宝石晶体生长炉观察窗,多采用在上炉盖下方,炉内隔热屏上部一遮挡片,通过;炉盖上方的旋动机构遮挡和暴露观察窗,这种装置结构复杂,并且在炉内要承受高温,不利于遮挡片旋动机构的密封保护,懂遮挡片传导上来的热量会严重影响旋动机构密封圈的寿命,甚在晶体生长炉运行过程中,出现真空泄露的情况。