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发布时间:2024/5/4 21:40:38
发布:shxj365
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进一步地,所述坩埚3为钨坩埚、焊接钼坩埚或者烧结钼坩埚。优选的是钨坩埚,因为钨的熔点高于钼的熔点,不容易高温挥发出来与氧气发生反应;目前常用的是烧结钼坩埚,但焊接钼坩埚的性能优于烧结钼坩埚,同样厚度的焊接钼坩埚和烧结钼坩埚耐受的使用温度和使用时间长短是一样的,有的甚远远高于烧结坩埚的使用时间。这是因为烧结的密度再高,也比不上经过多次轧制的钼板所有的致密度,因此焊接钼坩埚中的钼更加不容易挥发,进而与氧气反应产生MoO2。
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2、坩埚轴驱动装置中特别要注意的还有关键的导向元件,是它的导柱及直线运动轴承,维护时应多加注意,时常保导柱的洁净度,不允许出现灰尘、杂物附着的情况,定期涂抹油脂,以防绣蚀。直线轴承出厂时已作了充分的润滑,必要时每隔一年加注锂基润滑脂一次,加油时, 盖,提起油封,推出轴承,认真清洗后方可注入新油(见附图9),发现导柱与轴承间有研损时,应将轴承微转一角度,使滚珠避研损痕迹,以确保平衡运行。导柱与轴承是配套装配的,一定不能马虎大意。单晶硅片由此进入生产流程:1、酸洗:使用稀HNO3,进行清洗,去除表面杂质及时产生的四硅。2、清洗:清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。3、单晶硅料烘干:去除水分。4、挑料:区分P型,N型硅料。5、配料:对拉晶的硅料型号进行匹配。6、单晶炉拉晶:7、硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。8、断:将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。9、包装:将断后的单晶硅棒进行包装,送下一道工序10、磨圆:将单晶硅棒四个直角进行磨圆。11、多线切割:瑞士的264,265。日本的PV800,MDM442DM设备进行切割0.33mm。12、清洗:13、单晶硅片检测:单晶炉的结构单晶炉炉体(包括板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢。